“埋込み工程”におけるトラブルシューティング

本講義では,微細構造検査用試料作製工程の切断・埋込み・研磨・観察において試料作製の第二工程である“埋込み”で起こる不具合について紹介し,それぞれの不具合の対応策(トラブルシューティング)をご紹介いたします。

微細構造検査試料作製におけるプロセスは,切断,埋込み,研磨,という各工程において適切な作業が必要です。

微細構造検査試料作製時の“埋込み工程”での不具合やミスは,その後に続く研磨工程に大きな影響を及ぼし,その試料作製全体に致命的なダメージを及ぼします。また,希少な試料での埋込み作業の失敗で,やり直しのきかないことも起こりえます。

講義でご紹介する不具合や対応策(トラブルシューティング)を知ることで正しい埋込み作業を実施し,次工程である研磨での不具合も減らすことができるでしょう。

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