“研磨工程”におけるトラブルシューティング

本講義では,微細構造検査用試料作製工程の切断・埋込み・研磨・観察において試料作製の第三工程である研磨で起こる不具合とそれぞれの不具合の対応策(トラブルシューティング)をご紹介いたします。

微細構造検査試料作製におけるプロセスは,切断,埋込み,研磨,という各工程において適切な作業が必要です。
後の顕微鏡観察での成功は,試料が適切に作製されているかどうかが決定すると言っても過言ではないものの,微細構造検査用試料作製の“研磨工程”での不具合やミスは,アーティファクトが研磨面に残ってしまった状態を引き起こし,正確な試料観察の足かせとなります。