自動化は微細構造検査にどのような価値をもたらしますか?
多くの業界において,自動化はスループット,一貫性,精度を高めるための信頼性の高い方法であることが実証されています。人の関与を可能な限り排除することで,自動化プロセスを最小限の変動でより効率的かつ優れた費用対効果で完了できます。しかし,これは微細構造検査にどの程度うまく応用でき,どのような価値をもたらすのでしょうか?
多くの業界において,自動化はスループット,一貫性,精度を高めるための信頼性の高い方法であることが実証されています。人の関与を可能な限り排除することで,自動化プロセスを最小限の変動でより効率的かつ優れた費用対効果で完了できます。しかし,これは微細構造検査にどの程度うまく応用でき,どのような価値をもたらすのでしょうか?
-5000年マグナトムは,非常に複雑な切断面をマッピングし,各切断面毎にシュミレーションし,切断位置の確認,修正が可能です。
ヘキサマチックは,試料ホルダに固定された試料と,試料移動板の個々の試料いずれにも対応できます。ヘキサマチックでは次の処理が可能です。
自動化だけが提供できる再現性